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风囊泵

现有产品最大流量可达到30L/min,可根据液体温度范围匹配不同供气压力,泵接口可适配PFA管路,主要应用于:

1. 半导体湿法化学品输送;

2. 显示面板清洗及制程药液输送;

3. CMP抛光液及相关化学品供液;

4. 酸碱药液和腐蚀性流体输送;

5. 高洁净设备配套供液;

6. 对金属离子、颗粒物和材料析出有控制要求的流体系统。

针对不同介质,公司可结合液体的腐蚀性、黏度、温度、颗粒状态及洁净要求,对风囊、阀芯、管路和接液部件材料进行适配。